孙捷

作品数：9被引量：23H指数：3
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供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文主题：ZNO薄膜纳米电子器件氧化锌分子束外延激光分子束外延更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>
发文期刊：《红外与激光工程》《材料导报》《半导体光电》《哈尔滨工业大学学报》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划辽宁省科学技术基金更多>>
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128×128三电极中/长波双色量子阱红外探测器被引量：3
《红外与激光工程》2012年第9期2249-2252,共4页苏艳梅 种明 曾一平 胡小燕 于艳 孙捷 张晓燕 
量子阱红外探测器(QWIP)阵列具有重要的实用意义。国外的研究已经相当成熟,但是在国内,量子阱红外探测器阵列的研究水平还较低,尤其是对于双色量子阱红外探测器阵列的研究更是刚刚起步。文中使用GaAs/AlGaAs、InGaAs/AlGaAs应变量子阱...
关键词：红外探测器 量子阱 双色 
基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器被引量：1
《半导体光电》2006年第5期543-546,共4页侯识华 孙捷 毛容伟 吴旭明 马骁宇 谭满清 陈良惠 
国家高技术研究发展计划资助项目(2001AA312180)
采用表面微机械技术制作了一种1 310 nm基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot光滤波器。该滤波器的通光孔直径约为70μm,在1.4 V的调谐电压下,调谐范围达到15 nm。并采用光学传输矩阵方法,分析了斜入射对这种可调...
关键词：可调谐滤波器 InP/空气隙 分布布拉格反射镜 FABRY-PEROT 表面微机械技术 
自组装半导体量子点的电子学性质研究进展被引量：2
《金属学报》2005年第5期463-470,共8页孙捷 金鹏 王占国 
国家重点基础研究发展规划项目G2000068303和2002CB311905国家高技术研究发展计划项目 2002AA311070和2002AA311170国家自然科学基金项目60306010和90101004资助
自组装半导体量子点是人工设计、生长的一种具有量子尺寸效应、量子干涉效应、表面效应、量子隧穿和Coulumb阻塞效应以及非线性光学效应的新型功能材料.由于其具有晶体缺陷少、材料制备工艺相对简单等优点而在未来纳米电子器件的研制中...
关键词：自组装半导体量子点 量子尺寸效应 纳米电子器件 
自组装半导体量子点在纳米电子器件中的应用被引量：2
《半导体技术》2005年第1期61-65,共5页孙捷 
国家重点基础研究发展规划项目(G2000068303;2002CB311905)
随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程。自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用于纳米电子器件制备中。本文按纵向输运器件、横向输运器件...
关键词：微电子工艺 量子特性 自组装半导体量子点 纳米电子器件 
化学液相沉积法制备Al_xO_y薄膜被引量：5
《哈尔滨工业大学学报》2003年第6期668-670,共3页饶文雄 孙捷 宋昌烈 李成仁 李淑凤 胡礼中 
国家自然科学基金资助项目 ( 697870 0 16988970 1)
给出了用化学液相沉积法 (CLPD)制备AlxO y/Si薄膜的方法 ,室温下生长 2h得到AlxO y/Si薄膜 ,其退火温度为 10 0 0℃ ,退火时间 2h .对薄膜的显微硬度、成分和结构进行了检测和分析 .结果表明 ,薄膜的显微硬度在退火前为 5 2 0 2 .0N/mm...
关键词：化学液相沉积法 氧化铝薄膜 光波导放大器 生长液 硅 双水解过程 退火 显微硬度 晶化 
集成电路薄膜工艺的新进展——化学液相淀积
《材料导报》2003年第10期78-79,共2页孙捷 孙迎春 
介绍了化学液相淀积法制备氧化物薄膜的工艺过程及其在集成电路生产中的应用,并报道了一些最新研究成果。
关键词：集成电路 薄膜工艺 化学液相淀积 半导体器件 可靠性 
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