新产品  

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出　　处：《集成电路应用》2006年第11期52-52,54,共2页Application of IC

摘　　要：硅片划片系统；测试系统；晶圆键合机；工艺监控器;掩膜版验证系统。

关 键 词：产品 测试系统 验证系统 键合机 监控器 掩膜版 

分 类 号：TP274[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]