电磁场校正的子域变换和畸变速率补偿法  

SUBFIELD MAPPING AND DISTORTION RATE COMPENSATION FOR CORRECTING METHOD OF ELECTROMAGNETIC FIELD

作　　者：胡咏梅[1] 姚作宾[1] 王绍钧[1] 

机构地区：[1]山东工业大学自动化工程系

出　　处：《微细加工技术》1996年第2期1-6,共6页Microfabrication Technology

摘　　要：应用子域变换导出场的畸变函数，并给出畸变速率补偿法，以提高校正函数的逼近程度。The distortion function of the fied is deduced with the subfield mappingmethod. And the distortion rate compensation method is given to increase thedegree of approach of the correction function.

关 键 词：电磁场校正 电子束曝光 区域变换 畸变速率补偿 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]