MEMS技术在非制冷热红外探测器中的应用  

Application of MEMS technology in uncooled infrared detector

作　　者：胡明[1] 吕宇强[1] 颜海洋[1] 吴淼[1] 

机构地区：[1]天津大学电子信息工程学院,天津300072

出　　处：《传感器与微系统》2007年第1期90-92,96,共4页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60371030);天津市自然科学基金资助项目(043600811)

摘　　要：微机电系统(MEMS)技术是以实现机电一体化为目标的一项新兴技术,它在红外器件制作中的引入为非制冷红外探测器的实用化开辟了新的途径。目前,应用MEMS技术制作的主要有微测辐射热计微桥结构和微悬臂红外探测器双层悬臂结构2种。对它们各自的工作原理、组成结构、MEMS工艺实现以及发展方向作了较为详细的阐述。Micro electro-mechanical system（MEMS） is a new rising technology which aim is to integrate the microelectrics and micromechanics. It provides a new path to the application of uncooled infrared detector. At present,there are two micro structure maded by MEMS technology： microbridge in the microbolometer FPA and bimaterial microcantilever of microcantilever detector. The principle, microfabrication process and trends are introduced respectively.

关 键 词：微机电系统 红外探测器 微桥 微悬臂 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学]