吴淼

作品数：8被引量：43H指数：4
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供职机构：天津大学电子信息工程学院更多>>
发文主题：氧化钒薄膜电阻温度系数红外探测器TCR氧化钒更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《硅酸盐通报》《压电与声光》《红外与激光工程》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：天津市自然科学基金国家自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
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MEMS技术在非制冷热红外探测器中的应用被引量：2
《传感器与微系统》2007年第1期90-92,96,共4页胡明 吕宇强 颜海洋 吴淼 
国家自然科学基金资助项目(60371030);天津市自然科学基金资助项目(043600811)
微机电系统(MEMS)技术是以实现机电一体化为目标的一项新兴技术,它在红外器件制作中的引入为非制冷红外探测器的实用化开辟了新的途径。目前,应用MEMS技术制作的主要有微测辐射热计微桥结构和微悬臂红外探测器双层悬臂结构2种。对它们...
关键词：微机电系统 红外探测器 微桥 微悬臂 
非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜制备研究被引量：1
《红外与激光工程》2007年第z1期54-58,共5页胡明 梁继然 吴淼 吕宇强 韩雷 刘志刚 
天津市自然科学基金资助项目(043600811)
主要介绍了红外探测器的分类、发展,及基于氧化钒薄膜的热探测器的优势;采用直流对靶磁控溅射法制备氧化钒薄膜,通过设计正交实验,获得了氧化钒薄膜的最佳制备参数,分析了各个制备参数对氧化钒薄膜成分以及TCR的影响,研究了硅衬底上氧...
关键词：氧化钒 电阻温度系数 红外探测器 
热红外探测器的最新进展被引量：14
《压电与声光》2006年第4期407-410,共4页吕宇强 胡明 吴淼 张之圣 刘志刚 
国家自然科学基金资助项目(60371030);天津市自然科学基金资助项目(043600811)
对基于热敏电阻的微测辐射热计和基于热释电效应的热释电红外探测器在探测元材料、焦平面阵列(FPA)结构和读出电路(ROIC)3个方面进行了分析对比,讨论了这两种非制冷探测器热电材料的选取原则,FPA单元的热绝缘构造和读出电路的组成方式,...
关键词：红外探测器 微测辐射热计 热释电 焦平面阵列 热绝缘 
常温直流对靶溅射制备高TCR氧化钒薄膜被引量：2
《天津大学学报》2006年第7期806-809,共4页吴淼 胡明 吕宇强 刘志刚 
国家自然科学基金(60371030);天津市应用基础研究计划资助项目(043600811).
常温下用直流对靶磁控溅射的方法在玻璃基片上制备出了高电阻温度系数(TCR)氧化钒薄膜.通过设计正交试验,系统分析了Ar和O_2的标准体积比、溅射功率、工作压强和热处理时间对氧化钒薄膜TCR的影响.对最佳工艺条件下制得的薄膜进行电阻温...
关键词：直流对靶磁控溅射 氧化钒薄膜 电阻温度系数 正交试验 
红外微测辐射热计用纳米氧化钒薄膜的制备和性能研究被引量：1
《纳米技术与精密工程》2006年第3期221-224,共4页吕宇强 胡明 吴淼 韩雷 梁继然 刘志刚 
天津市自然科学基金(043600811).
具有优异热敏性能的氧化钒薄膜材料是红外测辐射热计的首选热敏电阻材料,合适的薄膜电阻及高温度电阻系数的氧化钒薄膜的制备是实现高探测率红外测辐射热计的保证．利用新型对靶反应磁控溅射工艺制备了具有纳米颗粒的氧化钒薄膜材料,确...
关键词：纳米氧化钒薄膜 测辐射热计 温度电阻系数TCR 直流对靶磁控溅射 
真空蒸发法制备氧化钒薄膜的研究被引量：10
《硅酸盐通报》2005年第1期17-19,24,共4页吴淼 胡明 张之圣 刘志刚 温宇峰 
天津市自然科学基金项目(043600811).
以V2O5粉末为原料,采用真空蒸发结合真空热处理方法制备V O x薄膜,运用X R D(X射线衍射)和SE M(扫描电子显微镜)技术分析了基片材料、基片温度、真空热处理工艺对氧化钒薄膜结晶状态、物相组成和表面形貌的影响,在基片温度为200℃和400...
关键词：氧化钒薄膜 基片温度 真空蒸发法 X射线衍射 绝对值 室温 表面形貌 制备 片材 V2O5 
基片温度对氧化钒薄膜结构与电性能的影响被引量：4
《压电与声光》2004年第6期471-473,487,共4页吴淼 胡明 温宇峰 
天津市自然科学基金资助项目(043600811)
以V2O5粉末为原料采用真空蒸发法结合真空退火还原法在玻璃基片上制备VOx薄膜,调节不同的基片温度获得几组薄膜。运用X-射线衍射(XRD)分析和扫描电子显微镜(SEM)分析发现随着基片温度的不同,薄膜成分、物相以及表面形貌有明显差异。在...
关键词：五氧化二钒 真空蒸发 退火 VOx薄膜 基片温度 电阻温度系数 
铁电随机存储器的研究进展被引量：9
《压电与声光》2003年第6期472-475,共4页吴淼 胡明 王兴 阎实 
铁电薄膜与半导体集成技术相结合而发展起来的铁电存储器,以其高密度、高速度、非易失性及抗辐射性而大大优于目前任何一种半导体存储器。该文介绍了铁电存储器的存储原理、特点、基本存储单元、研究进展、应用及存在的问题,并指出1T结...
关键词：铁电存储器 铁电薄膜 铁电随机存储器(FRAM) 
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