SEM编程扫描信号发生器  

作　　者：张永明[1] 王克定[1] 

机构地区：[1]中国科学院科学仪器厂

出　　处：《电子显微学报》1990年第3期292-292,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：本编程扫描信号发生器是为KYKY2000型扫描电子显微镜开发研制的。其主要特点是除了输出送往电镜镜筒及照相CRT的模拟扫描信号外,还输出送往图象存贮器的数字地址信号。发生器的各种扫描方式及状态完全由软件程序来控制,使硬件结构大大简化,且便于与主计算机通讯,实现各种自动控制功能。此编程扫描发生器的核心是一块Z80微机板,它有自己的RAM和ROM,存放一些控制程序和参数。使用一个可编程定时器,产生各种扫描方式下的数字扫描信号,再经D/A变换而成镜筒和照相CRT所需要的模拟信号形式。扫描方式有面、点、线、选区、分割、双放及分割选区等。

关 键 词：SEM 扫描电镜 信号发生器 编程 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]