基于特征函数的空间点光强的快速算法  

Approximate Point Intensity Algorithm Based on Eigenfunctions

作　　者：周珂[1] 陈晔[1] 沈珊瑚[1] 史峥[1] 

机构地区：[1]浙江大学电气工程学院,浙江杭州310027

出　　处：《半导体光电》2007年第1期54-57,共4页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：讨论了部分相干成像系统空间点光强的一种近似算法,即通过特征值分解的方法将部分相干成像系统的Hopkins公式展开为N阶相干系统之和的SOCS算法,并提出了优化的N的取值方案。该方案充分考虑了光刻系统参数对N的取值影响。实验结果证明,采用新的N取值方案的近似算法是一种高精度的算法。An approximate algorithm,i.e.,SOCS algorithm,calculating spatial point intensity of partially coherent optical imaging system,has been discussed.In this algorithm,Hopkins equation is expanded into the sum of N order coherent systems through using eigenfunction resolution.An optimized strategy about how to choose N is presented,which considers the effects of lithography system parameters on N values.The high precision of the algorithm with new N-strategy is proved by experiments.

关 键 词：空间点光强 Hopkins公式 特征函数 SOCS 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]