沈珊瑚

作品数：4被引量：2H指数：1
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供职机构：浙江大学电气工程学院更多>>
发文主题：超深亚微米特征函数分辨率增强技术分辨率光刻模拟更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《半导体光电》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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基于特征函数的空间点光强快速算法优化
《江南大学学报（自然科学版）》2007年第5期518-522,共5页周珂 史峥 陈晔 沈珊瑚 
国家自然科学基金项目(60574001)
讨论了部分相干成像系统空间点光强的一种近似算法——即通过特征值分解的方法将部分相干成像系统的Hopkins公式展开为N阶相干系统之和的相干系统与双线性系统算法,并提出了优化的N取值方案.该方案充分考虑了光刻系统参数对N取值的影响...
关键词：空间点光强 Hopkins公式 特征函数 相干系统与双线性系统 
适用于超深亚微米光刻仿真的建模和优化
《Journal of Semiconductors》2007年第8期1320-1324,共5页沈珊瑚 史峥 谢春蕾 严晓浪 
国家自然科学基金资助项目(批准号:90207002)~~
提出了一种新颖的利用版图轮廓的超深亚微米光刻工艺建模流程.该流程采用的方法主要包括:首先将代表纯光学模型的传输交叉系数矩阵通过圆极化采样正交投影成更小规模的矩阵,同时用该组相同的极化采样基表示掩模图形;然后用目标电路版图...
关键词：光刻建模 版图轮廓 圆极化采样 遗传算法 光学邻近校正 
基于特征函数的空间点光强的快速算法
《半导体光电》2007年第1期54-57,共4页周珂 陈晔 沈珊瑚 史峥 
讨论了部分相干成像系统空间点光强的一种近似算法,即通过特征值分解的方法将部分相干成像系统的Hopkins公式展开为N阶相干系统之和的SOCS算法,并提出了优化的N的取值方案。该方案充分考虑了光刻系统参数对N的取值影响。实验结果证明,...
关键词：空间点光强 Hopkins公式 特征函数 SOCS 
亚波长光刻离轴照明和次分辨率辅助图形技术被引量：2
《江南大学学报（自然科学版）》2006年第6期679-684,共6页李季 史峥 沈珊瑚 陈晔 
国家自然科学基金项目(60176015)
讨论了亚波长光刻条件下的离轴照明和次分辨率辅助图形两种分辨率的增强技术,分析了两种技术的原理,利用光刻模拟软件,针对不同线宽的稀疏线条,对添加次分辨率辅助图形前后的光刻仿真结果进行了对比.研究结果表明,离轴照明技术和次分辨...
关键词：离轴照明 次分辨率辅助图形 分辨率增强技术 光刻模拟 
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