椭偏仪的原理和应用  

The Principle and Application of Ellipsometery

作　　者：余平[1] 张晋敏[1] 

机构地区：[1]贵州大学计算机科学与工程学院,贵阳550025

出　　处：《合肥学院学报（自然科学版）》2007年第1期87-90,共4页Journal of Hefei University :Natural Sciences

基　　金：贵州省大学生创业基金项目(701059101)资助

摘　　要：椭偏术是一种利用线偏振光经样品反射后转变为椭圆偏振光这一性质以获得样品的光学常数的光谱测量方法.椭偏仪主要用来测量薄膜材料或块体材料的光学参数和厚度的仪器.Ellipsometery is a method that utilizes the property of slight elliptical polarization of reflecting light. Spectroscopic ellipsometry is used to measure the optical parameter and thickness of film material or thick material.

关 键 词：椭偏仪 光学参数 薄膜 偏振Drude模型 

分 类 号：O433.1[机械工程—光学工程]