云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 余平

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激光扫描磁控溅射Fe/Si膜直接形成α-FeSi_2被引量：2: 《功能材料》2008年第7期1087-1090,共4页张晋敏谢泉余平张勇肖清泉杨子义梁艳曾武贤; 国家自然科学基金资助项目(6056601);贵州省青年优秀人才培养计划资助项目(黔科合人20050528); 用直流磁控溅射方法分别在室温及不同温度的Si(100)衬底上沉积Fe膜,随后采用脉冲激光扫描进行退火,X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征了激光扫描对薄膜结晶性质和表面显微结构的影响。测量结果证实直接形成了Fe-Si化合物系的富...; 关键词：磁控溅射激光扫描退火结晶性质显微结构

Effects of Annealing on Atomic Interdiffusion and Microstructures in Fe/Si Systems被引量：4: 《Journal of Semiconductors》2007年第12期1888-1894,共7页张晋敏谢泉曾武贤梁艳张勇余平田华; 国家留学基金委2006-2007年度中-克互换奖学金项目(批准号:留金出(2006)3042);国家自然科学基金(批准号:6056601);教育部博士点专项基金(批准号:20050657003);贵州省科技厅国际合作计划(批准号:黔科合G(2005)400102)资助项目~~; Pure metal Fe films with thickness of about 100nm were deposited on Si （100） substrates by DC magnetron sputtering. Annealing was subsequently performed in a vacuum furnace in the temperature range of 600-1000℃ for...; 关键词：magnetron sputtering ANNEALING RBS atomic interdiffusion MICROSTRUCTURE

Ag保护层对TbFeCo磁光薄膜光学性质的影响: 《磁性材料及器件》2007年第3期24-26,共3页余平任雪勇梁艳曾武贤张晋敏; 贵州省教育厅大学生创业基金项目(701059101);贵州省科技厅自然科学基金资助项目(20033059);贵州省教育厅自然科学基金资助项目(2003315); 用直流磁控溅射法制备出Ag/TbFeCo/Si(100)磁光薄膜。利用可变入射角椭圆偏振光谱仪测量了其可见光区的光学常数,给出薄膜介电函数实部和虚部随入射光子能量的变化规律,结果与经典的Drude模型相一致。同时把Ag/Si、Ag/TbFeCo/Si和TbFeCo...; 关键词：Ag/TbFeCo/Si(100)磁光薄膜椭偏光谱磁控溅射

溅射气压对TbFeCo磁光薄膜的光学常数的影响: 《功能材料》2007年第A03期1074-1076,共3页张勇张晋敏余平田华; 贵州省教育厅大学生创业基金资助项目（701059101）;贵州省科技厅自然科学基金资助项目（20033059）;贵州省教育厅自然科学基金资助项目（2003315）.; 利用直流磁控溅射制备了TbFeCo/Si薄膜，采用可变入射角全自动椭圆偏振光谱仪，测量了用磁控溅射法制备的TbFeCo/Si薄膜的光学常数，测量能量范围为1．5～4．5eV。分析了不同氩气压强对磁控溅射制备的TbFeCo/Si磁光薄膜的光学常数的影...; 关键词：磁控溅射 TbFeCo薄膜椭偏光谱光学常数

保护层Ag对Ag/TbFeCo光学性质的影响: 《西南科技大学学报》2007年第1期12-15,共4页余平任雪勇梁艳曾武贤张晋敏; 贵州省科技厅自然科学基金(20033059);贵州省教育厅自然科学基金(2003315);贵州省教育厅大学生创业基金(701059101)资助。; 磁光记录介质非晶稀土-过渡金属合金TbFeCo薄膜覆盖Ag保护层可减小稀土元素的氧化且能增强其磁光克尔效应。利用直流磁控溅射法制备出Ag/TbFeCo／Si(100)磁光薄膜,利用可变入射角椭圆偏振光谱仪测量了其可见光区的光学常数,给出薄膜介...; 关键词：磁光薄膜椭偏光谱磁控溅射 AG

椭偏仪的原理和应用被引量：12: 《合肥学院学报（自然科学版）》2007年第1期87-90,共4页余平张晋敏; 贵州省大学生创业基金项目(701059101)资助; 椭偏术是一种利用线偏振光经样品反射后转变为椭圆偏振光这一性质以获得样品的光学常数的光谱测量方法.椭偏仪主要用来测量薄膜材料或块体材料的光学参数和厚度的仪器.; 关键词：椭偏仪光学参数薄膜偏振Drude模型

磁控溅射制备FeSi膜的性质: 《长春师范学院学报（自然科学版）》2007年第1期30-33,共4页余平张勇肖清泉张晋敏; 贵州省大学生创业基金(701059101); 本文利用JGP-560CⅧ型带空气锁的超高真空多功能溅射系统在Si(100)和玻璃基底上沉积了介质薄膜、半导体薄膜、金属薄膜和磁性薄膜,通过实验研究得到各种薄膜较好的镀膜条件;并采用可变入射角椭圆偏振光谱仪对其中一些薄膜的光学性质进...; 关键词：磁控溅射薄膜椭偏仪反应溅射

磁控溅射真空制膜技术被引量：19: 《贵州大学学报（自然科学版）》2007年第1期68-70,86,共4页余平任雪勇肖清泉张晋敏; 利用JGP-560CⅧ型带空气锁的超高真空多功能溅射系统在Si(100)和玻璃基底上沉积了介质薄膜、半导体薄膜、金属薄膜和磁性薄膜,通过实验研究得到各种薄膜较好的镀膜条件;并采用可变入射角椭圆偏振光谱仪对其中一些薄膜的光学性质进行了分...; 关键词：磁控溅射薄膜椭偏仪

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