泽尔尼,打造自己的CD检测设备  

作　　者：钱敏 

出　　处：《集成电路应用》2007年第3期18-18,共1页Application of IC

摘　　要：从事半导体设备研发和制造并有所成就的本土公司本来就不多．而专注于半导体检测设备的公司更是屈指可数．上海泽尔尼仪器有限公司就是其中一家．研发方向是半导体6—12寸晶圆／掩膜版CD的检测．并已有了自己的用户。

关 键 词：检测设备 CD 半导体设备 12寸晶圆 掩膜版 研发 仪器 

分 类 号：TP333.4[自动化与计算机技术—计算机系统结构]