多轴微加速度传感器的进展  

Progress in multi-axis microaccelerometer

作　　者：刘妤[1] 温志渝[2] 杨红韵[1] 

机构地区：[1]重庆工学院汽车学院,重庆400050 [2]重庆大学光电工程学院,重庆400044

出　　处：《传感器与微系统》2007年第4期4-6,共3页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10176040)

摘　　要：微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传感器的研究正成为MEMS领域的热点。基于多轴微加速度传感器典型实例的介绍,评述了近年来该领域的进展,并就其未来的发展作了展望。The mieroaccelerometer is an important crucial component of micro inertial measurement unit （MIMU）. With the development of MEMS technology ,technique of the single-axis microaceelerometers is already mature, study on the multi-axis microaccelerometers is becoming the hot issue in MEMS field. Through the introduction of some multi-axis microaccelerometers, new progress and the future trend in this field are discussed.

关 键 词：微机电系统 微加速度传感器 多轴 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]