衍射光强取样分析法测定划痕宽度:理论部分  

Measuring Scratch Width by Sampling Diffracted Light Intensity: Theory

作　　者：戴名奎[1] 徐德衍[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理实验室

出　　处：《光学学报》1997年第3期351-356,共6页Acta Optica Sinica

摘　　要：在理论上分析了截面为矩形、三角形和余弦形的划痕的衍射花样的相似性，并在此基础上提出了一种测定划痕宽度的衍射光强取样分析法。本文还就消除光阑衍射光及粗糙度散射光的干扰提出了行之有效的措施。The similarity of scratches diffraction patterns with different cross section, rectangular, triangular and cosinoidal, is discussed. A new method, sampling the diffracted light, to measure the scratch width is proposed.

关 键 词：衍射光强分布 实际宽度 等效线宽 

分 类 号：O436.1[机械工程—光学工程]