NOVELLUS推出VECTOR EXPRESS  

出　　处：《电子工业专用设备》2007年第4期71-71,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：诺发系统有限公司日前正式推出VECTOR Express^TM新产品。VECTOR Express^TM是诺发公司300mm VECTOR等离子增强化学气相沉积（PECVD）平台的最新增强版本。VECTOR Express的工艺生产速度提高了40％，保持了业界领先的生产效率。此外，VECTORExpress还建立了薄膜工艺性能的新标杆，使该设备能够被延伸到45nm及以下工艺节点。

关 键 词：VECTOR EXPRESS 等离子增强化学气相沉积 EXPRESS 工艺性能 生产速度 生产效率 系统 

分 类 号：TP312[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]