诺发系统有限公司推出VECTOR Express——PECVD薄膜工艺生产效率和技术领先者  

出　　处：《半导体技术》2007年第6期547-547,共1页Semiconductor Technology

摘　　要：2007年3月21日，中国上海．诺发系统有限公司（NOVELLUS）正式推出VECTOR Express？新产品。这是诺发公司300mm PECVD平台的最新增强版本，其工艺生产速度提高了40％，保持了业界领先的生产效率。此外，VECTOR Express还建立了薄膜工艺性能的新标杆，使该设备能够被延伸到45nm及以下工艺节点。

关 键 词：EXPRESS VECTOR PECVD 薄膜工艺 生产效率 系统 技术 生产速度 

分 类 号：TP393.098[自动化与计算机技术—计算机应用技术]