高真空排气过程计算机控制系统  

作　　者：诸静[1] 高锋[1] 蔡际令[1] 

机构地区：[1]浙江大学

出　　处：《工业控制计算机》1990年第4期42-44,共3页Industrial Control Computer

摘　　要：高真空排气是真空电子器件生产过程中关键工艺。本文介绍的计算机实时控制系统被首次应用于滚生产过程中。文章阐述了该系统的控制模式,系统功能与硬件配置:系统软件开发以及其特点等内容。

关 键 词：真空排气 计算机控制 真空器件 

分 类 号：TN108.4[电子电信—物理电子学]