基于以太网通讯模块的MOCVD设备控制系统设计  

Design of the MOCVD Controlling System Based on OMRON's Ethernet unit ETN21

作　　者：胡晓宇[1] 杨友才[2] 何华云[3] 邹春艳[3] 王慧勇[3] 李学文[3] 

机构地区：[1]国防科学技术大学,湖南长沙410000 [2]怀化职业技术学院机械工程系,湖南怀化418000 [3]中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙410111

出　　处：《电子工业专用设备》2007年第9期20-24,共5页Equipment for Electronic Products Manufacturing

基　　金：信息产业部电子信息产业发展资助项目(信运部[2004]42号)

摘　　要：根据MOCVD设备中控制量多、实时性强的要求,选用OMRON公司的10M以太网模块实现上位机与PLC之间的高速数据传输。介绍了以太网模块ETN21的安装与设置方法,给出基于UDP协议的以太网通讯程序。The data transmission between host computer and PLC is implemented by OMRON＇s Ethernet Unit ETN21 according to the demands on mass parameters and real-time process. The installation and settings of Ethernet Unit ETN21 are included, and the sample of Ethernet communicating program based on UDP protocol is presented.

关 键 词：以太网 MOCVD 控制系统 FINS 通讯 PLC 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]