李学文

作品数：3被引量：1H指数：0
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
发文主题：MOCVD设备MOCVD以太网GAN生长GAN更多>>
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基于以太网通讯模块的MOCVD设备控制系统设计被引量：1
《电子工业专用设备》2007年第9期20-24,共5页胡晓宇 杨友才 何华云 邹春艳 王慧勇 李学文 
信息产业部电子信息产业发展资助项目(信运部[2004]42号)
根据MOCVD设备中控制量多、实时性强的要求,选用OMRON公司的10M以太网模块实现上位机与PLC之间的高速数据传输。介绍了以太网模块ETN21的安装与设置方法,给出基于UDP协议的以太网通讯程序。
关键词：以太网 MOCVD 控制系统 FINS 通讯 PLC 
用于GaN生长的生产型MOCVD设备控制系统设计
《电子工业专用设备》2005年第6期14-17,共4页宋玲 李学文 廖炼斌 刘亚红 杨基南 
国家"863"计划新材料领域课题(2002AA311243)
MOCVD法外延生长GaN基材料作为新世纪的核心技术之一受到全世界的高度重视。MOCVD技术涉及面广,控制对象复杂,且对控制对象的精度、重复性、可靠性要求较高。主要介绍了用于GaN基材料生长的生产型MOCVD(2″×6)设备控制系统的组成与特...
关键词：MOCVD PLC GAN 自动控制系统 
液态源化学气相淀积制备SiO_2薄膜的设备研制
《电子工业专用设备》2003年第3期55-57,共3页廖佐昇 范迎新 任伟 王萍 李学文 杨基南 
采用液态有机硅源的等离子体增强化学气相淀积设备是通向深亚微米时代的桥梁。介绍研制的液态源化学气相淀积设备的工作原理、结构特点和工艺结果,制备的SiO2薄膜膜厚均匀性±2%,折射率1.452±0.014,生长速率40nm?min。
关键词：液态源 等离子体 化学气相沉积 设备 
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