范迎新

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
发文主题：U等离子体气相淀积微组装化学气相沉积更多>>
发文领域：电子电信更多>>
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浅谈微组装设备的标准化问题被引量：2
《电子工业专用设备》2013年第7期1-3,51,共4页范迎新 颜秀文 
微组装设备技术是国防科技工业先进制造能力的重要组成部分。依赖进口整线设备组建的微组装工艺线存在整线集成缺乏顶层设计、设备匹配性不好、数据界面不统一、工艺基准及工装兼容性较差等问题,引出了微组装设备技术自主发展存在的标...
关键词：微组装 专用设备 标准化 工艺验证 
液态源化学气相淀积制备SiO_2薄膜的设备研制
《电子工业专用设备》2003年第3期55-57,共3页廖佐昇 范迎新 任伟 王萍 李学文 杨基南 
采用液态有机硅源的等离子体增强化学气相淀积设备是通向深亚微米时代的桥梁。介绍研制的液态源化学气相淀积设备的工作原理、结构特点和工艺结果,制备的SiO2薄膜膜厚均匀性±2%,折射率1.452±0.014,生长速率40nm?min。
关键词：液态源 等离子体 化学气相沉积 设备 
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