刘亚红

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供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
发文主题：MOCVD设备MOCVDGAN生长GAN自动控制系统更多>>
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用于GaN生长的生产型MOCVD设备控制系统设计
《电子工业专用设备》2005年第6期14-17,共4页宋玲 李学文 廖炼斌 刘亚红 杨基南 
国家"863"计划新材料领域课题(2002AA311243)
MOCVD法外延生长GaN基材料作为新世纪的核心技术之一受到全世界的高度重视。MOCVD技术涉及面广,控制对象复杂,且对控制对象的精度、重复性、可靠性要求较高。主要介绍了用于GaN基材料生长的生产型MOCVD(2″×6)设备控制系统的组成与特...
关键词：MOCVD PLC GAN 自动控制系统 
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