廖炼斌

作品数：3被引量：4H指数：1
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LPCVD设备的高精度串级温度控制系统被引量：4
《电子工业专用设备》2006年第4期35-38,共4页宋玲 廖炼斌 张勇 罗卫国 
在大部分半导体工艺中,温度都是最重要的工艺参数之一,炉温的均匀性和稳定度对工艺都有着至关重要的影响。主要介绍了LPCVD设备中的高精度串级温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,温度稳定度≤±0.5℃/24h。
关键词：LPCVD 串级控制 温度控制 
用于GaN生长的生产型MOCVD设备控制系统设计
《电子工业专用设备》2005年第6期14-17,共4页宋玲 李学文 廖炼斌 刘亚红 杨基南 
国家"863"计划新材料领域课题(2002AA311243)
MOCVD法外延生长GaN基材料作为新世纪的核心技术之一受到全世界的高度重视。MOCVD技术涉及面广,控制对象复杂,且对控制对象的精度、重复性、可靠性要求较高。主要介绍了用于GaN基材料生长的生产型MOCVD(2″×6)设备控制系统的组成与特...
关键词：MOCVD PLC GAN 自动控制系统 
燃气彩偏窑的温度控制与安全保护
《电子工业专用设备》2004年第6期76-78,共3页何远湘 廖炼斌 杨晓生 
燃气彩偏窑是以气体燃料作为能源,通过对燃烧过程的自动控制,达到温度精确控制,满足彩偏磁芯烧结工艺要求。同时,对燃烧过程中的熄火、燃烧气体和助燃空气压力超过正常范围、排烟不畅等进行有效控制,保证安全生产。
关键词：燃烧 天然气 窑 控制 温度 安全保护 
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