罗卫国

作品数：2被引量：11H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
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应用于扩散工艺中的闭管扩散技术被引量：7
《微细加工技术》2006年第6期63-64,共2页向小龙 彭志虹 朱晓明 罗卫国 赵加宝 罗亮 
介绍了一种用于晶体硅太阳能电池p-n结制造的闭管扩散技术,它主要是针对目前使用的开管扩散技术的不足而提出的,实践证明,该技术不仅扩散均匀性优,而且节源、节能、环保,同时它还可以运用于其它半导体材料的扩散掺杂工艺。
关键词：闭管扩散技术 扩散均匀性 
LPCVD设备的高精度串级温度控制系统被引量：4
《电子工业专用设备》2006年第4期35-38,共4页宋玲 廖炼斌 张勇 罗卫国 
在大部分半导体工艺中,温度都是最重要的工艺参数之一,炉温的均匀性和稳定度对工艺都有着至关重要的影响。主要介绍了LPCVD设备中的高精度串级温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,温度稳定度≤±0.5℃/24h。
关键词：LPCVD 串级控制 温度控制 
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