朱晓明

作品数：1被引量：7H指数：1
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应用于扩散工艺中的闭管扩散技术被引量：7
《微细加工技术》2006年第6期63-64,共2页向小龙 彭志虹 朱晓明 罗卫国 赵加宝 罗亮 
介绍了一种用于晶体硅太阳能电池p-n结制造的闭管扩散技术,它主要是针对目前使用的开管扩散技术的不足而提出的,实践证明,该技术不仅扩散均匀性优,而且节源、节能、环保,同时它还可以运用于其它半导体材料的扩散掺杂工艺。
关键词：闭管扩散技术 扩散均匀性 
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