宋玲

作品数：3被引量：5H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
发文主题：生产型串级控制LPCVDLPCVD设备更多>>
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LPCVD设备的高精度串级温度控制系统被引量：4
《电子工业专用设备》2006年第4期35-38,共4页宋玲 廖炼斌 张勇 罗卫国 
在大部分半导体工艺中,温度都是最重要的工艺参数之一,炉温的均匀性和稳定度对工艺都有着至关重要的影响。主要介绍了LPCVD设备中的高精度串级温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,温度稳定度≤±0.5℃/24h。
关键词：LPCVD 串级控制 温度控制 
用于GaN生长的生产型MOCVD设备控制系统设计
《电子工业专用设备》2005年第6期14-17,共4页宋玲 李学文 廖炼斌 刘亚红 杨基南 
国家"863"计划新材料领域课题(2002AA311243)
MOCVD法外延生长GaN基材料作为新世纪的核心技术之一受到全世界的高度重视。MOCVD技术涉及面广,控制对象复杂,且对控制对象的精度、重复性、可靠性要求较高。主要介绍了用于GaN基材料生长的生产型MOCVD(2″×6)设备控制系统的组成与特...
关键词：MOCVD PLC GAN 自动控制系统 
生产型管式PECVD设备被引量：1
《电子工业专用设备》2005年第11期34-36,54,共4页宋玲 刘恺 杨彬 陈必雄 
太阳能电池作为新一代的绿色安全、无污染、长寿命的能源,已经广泛在欧洲等发达国家的军民行业中应用并在我国迅速推广。论述了由中国电子科技集团公司第四十八研究所研制的生产型管式PECVD设备的原理、构成及特点,并对其工艺结果进行...
关键词：PECVD 太阳能电池 多晶硅 
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