静电型微继电器的设计与研究  

Latest Development of Electrostatic Micro-Relays

作　　者：许高斌[1] 李洋[1] 何晓雄[1] 矫妹[1] 

机构地区：[1]合肥工业大学理学院,合肥230009

出　　处：《真空科学与技术学报》2007年第5期405-412,共8页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

基　　金：安徽省教育厅自然科学重点科研计划项目资助(No.2006KJ026A)

摘　　要：静电型微继电器采用静电致动原理,以静电力作为触点吸合的驱动力。在分析纵向静电型微继电器工作原理和Pull-in模型的基础上,给出了当前国内外典型的静电型继电器结构,阐述了这些微继电器的技术特点、制造工艺及其主要性能参数。对静电型继电器触点的材料选取及其性能进行比较分析。分析了静电型继电器实用化存在的主要技术难题和进一步研究可能的方向。The latest progress in research and development of the electrostatic micro-relays was tentatively reviewed with discussions focused on its typical structure, its operating principle, its fabrication technologies, its technical strengths and weaknesses, and its technical pmblems to be solved, etc.

关 键 词：微机电系统 静电型 微继电器 驱动电压 驱动模型 

分 类 号：TM581.1[电气工程—电器] TN304[电子电信—物理电子学]