李洋

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：合肥工业大学更多>>
发文主题：线控电机制动器微机电系统路况识别更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电气工程交通运输工程机械工程更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：安徽省高校省级自然科学研究项目国家自然科学基金更多>>
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一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器
《微纳电子技术》2007年第7期255-256,287,共3页李洋 许高斌 
安徽省教育厅自然科学研究重点项目(2006KJ026A)
介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺。通过优化并联梳齿结构的几何尺寸,可以使微继电器的阈值电压降低到5V。该微继电器的主体部分使用一套表面牺牲层标准工艺制造,同时,使用溅射工艺制作Au接触电极,...
关键词：微机电系统 微继电器 梳齿驱动 表面牺牲层工艺 
静电型微继电器的设计与研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2007年第5期405-412,共8页许高斌 李洋 何晓雄 矫妹 
安徽省教育厅自然科学重点科研计划项目资助(No.2006KJ026A)
静电型微继电器采用静电致动原理,以静电力作为触点吸合的驱动力。在分析纵向静电型微继电器工作原理和Pull-in模型的基础上,给出了当前国内外典型的静电型继电器结构,阐述了这些微继电器的技术特点、制造工艺及其主要性能参数。对静电...
关键词：微机电系统 静电型 微继电器 驱动电压 驱动模型 
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