红外激光双光束无损检测的数据采集法  

Data acquisition rechnique for IR laser double beam nondestructive testing

作　　者：江剑平[1] 陈汉祥[1] 

机构地区：[1]清华大学

出　　处：《半导体光电》1997年第2期130-133,共4页Semiconductor Optoelectronics

基　　金："863"计划资助课题

摘　　要：讨论了红外激光双光束干涉信号的数据采集及在半导体器件无损检测中的应用。Data acquisition of IR laser double beam interference signal is discussed along with it applications in nondestructive testing for semiconductor devices.Analgysis and comparison are made for device characteristics utilizing these acquisition results.

关 键 词：半导体器件 无损检测 数据采集 激光干涉测量 

分 类 号：TN307[电子电信—物理电子学] TP274.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]