陈汉祥

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发文主题：红外激光无损检测半导体器件激光干涉测量双光束更多>>
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红外激光双光束无损检测的数据采集法
《半导体光电》1997年第2期130-133,共4页江剑平 陈汉祥 
"863"计划资助课题
讨论了红外激光双光束干涉信号的数据采集及在半导体器件无损检测中的应用。
关键词：半导体器件 无损检测 数据采集 激光干涉测量 
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