微波LTCC内埋置电感设计与参数提取  

Design and Parameters Extraction Methods of Microwave LTCC Embedded Inductor

作　　者：吴静静[1] 延波[1] 张其劭[1] 郭高凤[1] 苏宏[2] 

机构地区：[1]电子科技大学电子工程学院,成都610054 [2]电子科技大学微电子与固体电子学院,成都610054

出　　处：《电讯技术》2007年第5期123-126,共4页Telecommunication Engineering

摘　　要：采用单π拓扑结构建立LTCC内埋置电感等效电路模型,并利用此模型来提取有效参数及各种寄生参数;采用相对介电常数为7.8、介质损耗为0.0015的微波陶瓷材料,以及银作为内电极,设计出400 MHz频率下大小为6.6 nH的LTCC内埋置螺旋电感,自谐振频率达2.2 GHz,最大Q值为50.2。An equivalent circuit model of embedded LTCC inductor in single π topology is proposed. The equivalent circuit model is used to extract effective and parasitic parameters. The used LTCC （Low Temperature Co- fired Ceramic） materials have a dielectric constant of 7.8, a loss tangent of 0.0015, and a metallization of silver. A 6.6nH embedded LTCC helical inductor at 400MHz is designed, its SRF （ Self Resonant Frequency） reaches 2.2GHz and Q factor is 50.2.

关 键 词：微波元件 参数提取 内埋置电感 LTCC 

分 类 号：TN60[电子电信—电路与系统]