硅谐振梁力传感器  

作　　者：Blon.,FR 王永忠 

出　　处：《国外计量》1990年第4期 32-33,57,共3页

关 键 词：电子天平 传感器 硅谐振 谐振梁 

分 类 号：TH715.116[机械工程—测试计量技术及仪器;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]