吉时利联合Stratophere Solutions研发65nm以下先进工艺特征分析技术  

出　　处：《电子测试》2008年第4期90-90,共1页Electronic Test

摘　　要：日前,吉时利（Keithley）仪器公司（NYSE代码：KEI）宣布将与Stratosphere Solutions公司（Sunnyvale,CA）合作。Stratosphere Solutions致力于面向集成电路制造提供能够提高工艺参数成品率的新型解决方案。吉时利与Stratosphere Solutions合作后将采用阵列测试元件组（TEG）技术展开先进工艺研发和监测工作。彼此共同的客户提供一种独特特征分析基本架构，采用吉时利S600系列参数测试仪和StratoPro^TM IP实现大容量、高产能、高可靠参数测量解决方案，确保客户成功实现先进半导体工艺。

关 键 词：工艺特征 吉时利 技术 研发 集成电路制造 参数成品率 参数测试仪 半导体工艺 

分 类 号：F416.6[经济管理—产业经济]