镀膜设备  

机构地区：[1]台湾省精碟科技股份有限公司

出　　处：《表面技术》2008年第2期58-58,共1页Surface Technology

摘　　要：一种镀膜设备，包括一动力单元、一传动机构、一监控机构、一基板承载机构及一镀膜源。其中，动力单元具有一旋转轴心；传动机构包括一第一齿轮及一第二齿轮，且第一齿轮轴设于旋转轴心，第二齿轮与第一齿轮相啮合，第二齿轮的中央具有一第一开口；监控机构具有至少两个测试组件；基板承栽机构连设于第二齿轮且具有一第二开口，第二开口与第一开口相对而设，监控机构穿设于第一开口及第二开口中；镀膜源与基板承载机构及测试组件相对而设。

关 键 词：镀膜设备 传动机构 动力单元 承载机构 测试组件 齿轮轴 监控 基板 

分 类 号：TQ153[化学工程—电化学工业] U463.92[机械工程—车辆工程]