镀膜设备

作品数：103被引量：106H指数：5
导出分析报告
相关领域：化学工程更多>>
相关作者：刘丽华周明杰徐安成陈功许清泉更多>>
相关机构：江苏微导纳米科技股份有限公司北京铂阳顶荣光伏科技有限公司江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
高真空镀膜设备真空系统设计
《大众科学》2024年第14期23-25,共3页彭军杆 
真空系统是一种常见的高真空系统结构,其作为真空涂层装备的核心部件,核心部件的选取直接关系到真空的质量。因此,开发出的真空涂层装备必须具有洁净、无油、高动态抽速等特点,常规的扩散泵作为主泵的装置已无法满足需求。介绍了油扩散...
关键词：高真空镀膜设备 真空系统 涂层装备 管道 
基于强流离子源的离子束溅射镀膜设备均匀性优化被引量：1
《物理学报》2024年第5期325-333,共9页李桑丫 张艾霖 †徐欣 吕涛 王世康 罗箐 
国家重点研发计划课题(批准号:2022YFA1602201);国家自然科学基金青年科学基金(批准号:12105278);中国科学技术大学学生创新创业和成果转化行动计划学生创新创业基金(批准号:CY2022G07);安徽省高等学校省级质量工程项目(批准号:2021jyxm1731);中国科学院国际伙伴计划国际大科学计划培育专项项目(批准号:211134KYSB20200057);中央高校基本科研业务费资助的课题.
随着高端光学器件镀膜的发展,其多样性溅射镀膜需求对离子束流流强、均匀度和可调性提出了更高的要求.对于新一代离子束溅射镀膜机来说,如何在不同离子比、不同流强的束流下保持足够的均匀度,成为了溅射镀膜设备的一大难题.本文提出了...
关键词：溅射沉积镀膜 引出系统 自动优化 束流引出模拟 
万顺新材:现有铝箔产能包括双零铝箔8.3万吨及电池铝箔4万吨
《铝加工》2023年第6期11-11,共1页
万顺新材近日表示,公司现有铝箔产能包括双零铝箔8.3万吨及电池铝箔4万吨。另外在建3.2万吨电池铝箔项目现处于设备带料试运行阶段,10万吨动力及储能电池箔项目抓紧建设中;此外,公司拥有多台进口磁控溅射镀膜设备、电子束镀膜设备等,可...
关键词：储能电池 镀膜设备 磁控溅射镀膜 铝箔 试运行阶段 电子束 
化工上市公司公告集萃
《中国石油和化工》2023年第8期55-56,共2页
(2023年7月)捷佳伟创│加码钙钛矿业务7月2日晚间,捷佳伟创(300724)发布公告称,拟募集资金总额不超过9.61亿元,用于投资钙钛矿及钙钛矿叠层设备产业化项目及补充流动资金。项目建成达产后可年产160台磁控溅射镀膜设备、119台反应式等离...
关键词：公司公告 镀膜设备 募集资金 真空蒸镀 磁控溅射镀膜 钙钛矿 流动资金 设备产业化 
蚌埠:扬鞭“赛马”激活力 招大引强促振兴
《江淮》2023年第8期44-45,共2页李斌 顾楷 
赛马比拼,争先进位。今年以来,蚌埠市坚持把招商引资和项目建设作为推动经济发展的有力抓手,持续深化招商体制机制改革,健全招大引强和投资“赛马”激励机制,以新的手法步法打法提高招商质效,激活发展引擎。一年来,肠道微生态与肠菌移...
关键词：装备制造产业 体制机制改革 镀膜设备 产业园 绿色能源 封装材料 碳中和 电致变色 
等离子体化学气相沉积镀膜设备
《中国科学院院刊》2023年第S01期40-40,共1页
主要技术与性能指标,中央传输室极限压力:≤2×10^(−4)Pa,进出片室极限压力:≤6.67×10^(−1)Pa,沉积室极限压力:≤2×10^(−6)Pa,80 mm×80 mm面积以内的硅薄膜,薄膜厚度均匀性偏差:<±3%,50 mm×50 mm面积以内的硅薄膜,薄膜厚度均匀性偏...
关键词：等离子体化学气相沉积 极限压力 镀膜设备 硅薄膜 薄膜厚度 性能指标 重复性 
电子束蒸发镀膜设备
《中国科学院院刊》2023年第S01期41-41,共1页
主要技术与性能指标,极限真空度:<2.6×10^(−5)Pa,系统真空漏率:≤6.6×10^(−8)Pa.l/s,膜厚不均匀度:≤±5%,片间不均匀性:≤±5%,批间不均匀性:≤±5%,主要应用,半导体、LED科学研究,代表性应用成果,可满足铝、钛、铬、钒、镍、银、铟...
关键词：不均匀度 沉积薄膜 极限真空度 不均匀性 电子束蒸发镀膜 半导体 科学研究 性能指标 
镀膜设备真空检漏方法和分析思路
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2023年第3期1-4,共4页刘春光 
晶圆镀膜工艺是在高真空的腔室中进行的,工艺要求在腔室中需要保持一个本底压力,如果漏孔较大,真空设备的抽速与漏孔漏率不能平衡,将无法满足做工艺的本底压力要求。当腔室出现漏孔的时候,就需要通过真空检漏来确定漏孔的位置和大小,堵...
关键词：晶圆镀膜 本底压力 漏孔 真空检漏 压升率 
东威科技瞄准锂电复合铜箔领域需求被引量：2
《表面工程与再制造》2022年第4期52-52,共1页周凭轩 
2022年7月11日,东威科技披露了6月下旬以来的调研纪要,贝莱德、信达澳银、农银汇理、易方达等37家机构参与。东威科技是国内镀膜设备核心供应商,下游应用领域广泛,目前其镀膜设备的客户主要来自锂电池行业,包括PET薄膜生产厂商、电池负...
关键词：电池生产 镀膜设备 领域需求 PET薄膜 生产厂商 供应商 跨行业 应用领域 
研究表面工程为材料“赋能”:穿上“外衣”,材料就能防腐耐磨——记中科院宁波材料所研究员汪爱英及其团队
《表面工程与再制造》2022年第4期57-59,共3页翁云骞 贺元凯 高晓静 
在中科院宁波材料技术与工程研究所(以下简称“中科院宁波材料所”)碳基薄膜与涂层技术团队实验室,通过一台台真空镀膜设备,人们能观察到神奇的一幕——氩气经过电离发出了淡紫色的放电辉光。电离的氩气形成等离子体,再轰击金、银等靶材...
关键词：真空镀膜技术 表面工程 镀膜设备 涂层技术 防腐耐磨 淡紫色 自主设计 目标物体 
全选清除导出
共11页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部