多条小间距扩散结横向扩散比例的测量  

作　　者：杨建红[1] 李思渊[1] 

机构地区：[1]兰州大学物理系

出　　处：《半导体技术》1997年第6期28-30,36,共4页Semiconductor Technology

摘　　要：用磨角法测量扩散结深和横向扩散比例将遇到来自两方面的误差影响：斜角的影响和结面交连的影响。斜角的影响是主要的但往往被忽视，结面交连的影响在两结十分靠近且结深较大时比较明显，对于静电感应器件而言更是如此，二者均使测量结果的误差和数据的离散性偏大。斜角的影响表现在使测得的横向扩散比例减小，甚至是成倍地减小。结面交连的影响是在结深较大时使测得的横向宽度长度实际上与纵向深度无关，得到的横向扩散比例随纵向结深反比例地减小。这些误差将会使器件的设计和工艺调节失去基础。横向扩散比例的异常变化并不意味着扩散动力学新效应。

关 键 词：扩散 测量 静电感应器件 半导体器件 

分 类 号：TN307[电子电信—物理电子学] TN305.4