Aviza刻蚀设备Omega fxP获中国晶圆厂订单  

出　　处：《电子工业专用设备》2008年第5期40-40,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：据FabTech网站报道，Aviza Technology称，中国大陆一家关键晶圆厂订购了Omega fxP刻蚀设备，该设备配备有两个ICP（感应耦合等离子）工艺模块。

关 键 词：OMEGA 刻蚀设备 中国大陆 FXP 晶圆 TECHNOLOGY 订单 工艺模块 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学] TP301.6[自动化与计算机技术—计算机系统结构]