诺发（NOVELLUS）VECTOR EXPRESS推出1年内售出100台 增强型PECVD平台迅速被全球各大IC制造商和代工厂采用  

出　　处：《电子工业专用设备》2008年第5期72-72,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：日前，诺发系统有限公司（Novellus Systems）宣布自其一年前推出VECTOR Express^TM以来，已为业界领先的逻辑器件和存储器件制造商提供了超过100台VECTOR Express？产品。目前，VECTOR Express已经在半导体行业十大资本设备采购商中的八家实现了量产。

关 键 词：EXPRESS 制造商 PECVD EXPRESS 增强型 VECTOR 工厂 IC 

分 类 号：TP393.098[自动化与计算机技术—计算机应用技术] F274[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]