检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:任建成[1] 王怀友[1] 张晓凯[1] 刘树海[1]
机构地区:[1]山东师范大学分析测试中心
出 处:《光谱学与光谱分析》1997年第4期92-95,共4页Spectroscopy and Spectral Analysis
摘 要:本文采用Pd(NO3)2-TritonX-100作硒的改进剂,使Se的允许灰化温度提高到1200℃,吸光度提高到2.92倍。用塞曼效应校正背景,有效地克服,P和Fe等的光谱干扰。此法检测限为8.0ng/mL,线性范围为10—120ng/mL,线性相关系数为r=0.9931。The three dimensional distribution of arsenic impurity concentration on the silicon wafer surface is determinaed by means of synchrotron radiation X ray microfluorescence (SRXRF) and total reflection X ray fluorescence (TXRF) anslysis.The result of depth profile of As is checked with secondary ion mass spectrometry(SIMS)and the agreement is reasonably good.
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