电化学纳米印刷术用于制造金属连接件  

作　　者：杨英惠（摘译） 

出　　处：《现代材料动态》2008年第6期11-11,共1页Information of Advanced Materials

摘　　要：美国伊里诺伊州立大学的研究人员开发出了简单易行的电化学工艺用于金属互连线及其他纳米结构的直接布线。这种称之为S4技术的工艺，首先用聚焦离子束在冲压模具上刻出所需图形，模具由硫化银之类的超离子材料制成。超离子材料中，金属离子几乎可以在晶格中自由运动。

关 键 词：纳米结构 电化学 金属连接件 印刷术 聚焦离子束 制造 冲压模具 金属互连线 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程] O646[理学—物理化学]