金属互连线

作品数：15被引量：15H指数：2
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一种采用互连线电容耦合的线计算电路设计
《西安电子科技大学学报》2022年第3期213-221,共9页李林 张会红 张跃军 
国家自然基金(61871244,61874078);专用集成电路与系统国家重点实验室开放研究课题基金(2019KF002);宁波市公益性计划项目(202002N3134);宁波市科技计划项目(202003N4107);宁波大学研究生SRIP项目(2020SRIP1320);宁波大学研究生科研创新基金(IF2021158)。
随着集成电路工艺节点的不断推进,互连线间的寄生效应越来越明显。互连线已经成为制约提高芯片计算能力的关键因素之一,考虑将互连线作为逻辑计算的设计方法引起设计者的广泛关注。通过对互连线间电容耦合效应的研究,提出一种采用金属...
关键词：电容耦合 金属互连线 线计算 逻辑门 译码器 
90nm SOI nMOSFET自加热效应研究
《半导体技术》2022年第5期369-372,380,共5页王娟娟 李江江 曾传滨 李逸帆 倪涛 罗家俊 赵发展 
国家自然科学基金资助项目(61804168)。
应用超快脉冲I-V测试系统对不同宽长比的90 nm绝缘体上硅(SOI)nMOSFET的自加热效应展开研究,根据瞬态和稳态漏源电流-漏源电压(I_(ds)-V_(ds))特性的对比结果,分析器件受自加热影响的程度。测试结果显示,宽长比为10μm/0.09μm的器件在...
关键词：绝缘体上硅(SOI) NMOSFET 自加热效应 接触孔 金属互连线 
面向纳米尺度金属互连线的蒙特卡洛模拟方法研究
《北京大学学报（自然科学版）》2022年第2期201-209,共9页胡远钊 杜刚 杨燚 赵钰迪 赵凯 
北京市教委科研计划(KM202111232016)资助。
考虑各种尺度下金属互连线中主要的电子散射机制,提出一种可以准确地仿真金属互连线中电子输运特性的蒙特卡洛模拟方法。模拟结果表明,等离子激元散射对体材料互连线的电阻率贡献最大,其次是电子间散射;晶粒间界散射则主导纳米尺度线宽...
关键词：蒙特卡洛方法 散射 电阻率 金属互连 
金属互连线电迁移的影响因素被引量：1
《焊接学报》2018年第5期29-32,共4页崔海坡 刘晓杰 邓登 
国家自然科学基金资助项目(51735003)
应用有限元分析软件ABAQUS,对金属互连线的电迁移过程进行了电热耦合仿真分析,比较了不同互连线材料、不同温度、不同层间介质等因素对互连线电迁移失效的影响.结果表明,与铝硅合金互连线相比,在同样电流密度条件下,无论是电势梯度最大...
关键词：电迁移 影响因素 电热耦合 互连线 
化学机械抛光中铜膜厚度电涡流在线测量技术研究
《机械工程学报》2016年第6期36-36,共1页曲子濂 孟永钢 
半导体集成电路经过几十年的发展,特征尺寸不断减小,器件的集成度越来越高,促进了制造工艺不断发展。铜化学机械抛光（Cu-CMP）工艺在当前的集成电路金属互连线制造过程中占有重要位置。为了防止抛光过程中对新型软介电材料的损伤,目前...
关键词：化学机械抛光 在线测量技术 半导体集成电路 电涡流 膜厚度 铜 制造工艺 金属互连线 
金属互连线电迁移过程中的高温蠕变行为研究被引量：1
《电子元件与材料》2016年第1期37-39,共3页崔海坡 邓登 
上海市自然科学基金资助项目(No.15ZR1428200)
基于ABAQUS有限元分析软件,对金属互连线的蠕变行为进行了研究,获取了高温下的蠕变应力分布云图,并分析了不同温度、不同升温速率等参数对铝硅合金互连线蠕变行为的影响规律。结果表明:在温度载荷作用下,铝硅合金互连线的蠕变应力在互...
关键词：蠕变 互连线 电迁移 影响规律 有限元分析 失效 
VLSI金属互连线电迁移噪声检测敏感性的逾渗模拟被引量：1
《现代电子技术》2010年第14期186-189,共4页李宇博 马中发 张鹏 
在电迁移物理机制的基础上结合逾渗理论,建立了一种金属互连线电迁移的逾渗模型。基于该模型,采用蒙特卡罗方法模拟了超大规模集成电路(VLSI)金属互连线电迁移过程中电阻和低频噪声参数的变化规律。结果表明,与传统的电阻测量方法相比,...
关键词：电迁移 LF噪声 逾渗模拟 敏感性 
面对新材料的挑战-先进化学机械研磨清洗技术简介
《集成电路应用》2008年第10期47-48,共2页赵润涛 
随着半导体制造技术的发展，尤其是随着晶体管线宽尺寸从0．13um到90nm，再到60nm以下，电阻电容延迟对整个器件功能的影响越来越大。为了应对这种影响，新的材料不断得到应用：低电阻的铜代替以前的铝成为新的金属互连线，金属之间的...
关键词：化学机械研磨 新材料 清洗技术 半导体制造技术 金属互连线 低介电常数 TEOS 介质材料 
集成电路互连铝通孔焦耳热效应的分析与模拟仿真被引量：1
《功能材料与器件学报》2008年第4期848-852,共5页江清明 周继承 杨春晖 章晓文 
国家自然科学基金资助项目(No.60371046)
对超大规模集成电路铝互连系统中的铝通孔电迁移进行了试验分析和模拟。以通孔开路为电迁移失效判据,求出了在加速条件下互连铝通孔的电迁移寿命;基于ANSYS模拟软件平台,对铝通孔电迁移热电耦合效应进行了模拟。仿真结果表明通孔最高温...
关键词：集成电路 通孔 金属互连线 温度分布模型 焦耳热 
电化学纳米印刷术用于制造金属连接件
《现代材料动态》2008年第6期11-11,共1页杨英惠（摘译） 
美国伊里诺伊州立大学的研究人员开发出了简单易行的电化学工艺用于金属互连线及其他纳米结构的直接布线。这种称之为S4技术的工艺，首先用聚焦离子束在冲压模具上刻出所需图形，模具由硫化银之类的超离子材料制成。超离子材料中，金属...
关键词：纳米结构 电化学 金属连接件 印刷术 聚焦离子束 制造 冲压模具 金属互连线 
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