NMOSFET

作品数:136被引量:120H指数:5
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90nm SOI nMOSFET自加热效应研究
《半导体技术》2022年第5期369-372,380,共5页王娟娟 李江江 曾传滨 李逸帆 倪涛 罗家俊 赵发展 
国家自然科学基金资助项目(61804168)。
应用超快脉冲I-V测试系统对不同宽长比的90 nm绝缘体上硅(SOI)nMOSFET的自加热效应展开研究,根据瞬态和稳态漏源电流-漏源电压(I_(ds)-V_(ds))特性的对比结果,分析器件受自加热影响的程度。测试结果显示,宽长比为10μm/0.09μm的器件在...
关键词:绝缘体上硅(SOI) NMOSFET 自加热效应 接触孔 金属互连线 
纳米MOS器件场氧化层和栅氧化层电离总剂量效应仿真被引量:1
《现代应用物理》2022年第1期172-179,共8页任晨 曹艳荣 张龙涛 吕航航 马毛旦 吕玲 郑雪峰 
国家自然科学基金资助项目(11690042,U1866212,12035019,61727804,11690040),北京智芯微电子技术有限公司实验室开放基金,科学挑战计划资助项目(TZ2018004)。
利用Silvaco TCAD软件,研究了电离总剂量(total ionizing dose,TID)效应对28 nm NMOSFET转移特性的影响。构建了28 nm NMOSFET 3维仿真模型,分3种情况探究了TID效应影响下,场氧化层和栅氧化层对NMOSFET的阈值电压、漏电流和跨导的影响...
关键词:TCAD仿真 NMOSFET 总剂量效应 氧化层 
基于高温抗辐照SOI CMOS工艺的器件特性研究被引量:1
《原子能科学技术》2021年第12期2151-2156,共6页张庆东 吴建伟 李金航 宋帅 纪旭明 顾祥 洪根深 李冰 
绝缘体上硅(SOI)技术因其独特的优势而广泛应用于辐射和高温环境中,研究不同顶层硅膜厚度(t_(Si))的器件特性,对进一步提升高温抗辐照SOI CMOS器件的性能至关重要。本工作首先通过工艺级仿真构建了N沟道金属氧化物半导体场效应晶体管(NM...
关键词:SOI NMOSFET 高温 辐射加固 顶层硅厚度 
0.20μm双埋氧SOI NMOSFET的自热效应
《半导体技术》2021年第8期617-622,共6页王国庆 张晋敏 吴次南 谢泉 刘凡宇 李博 杨静琦 
国家自然科学基金资助项目(61264004);贵州省自然科学基金资助项目(黔科合基础[2018]1028);贵州省高层次创新型人才培养项目(黔科合人才[2015]4015);贵州省留学回国人员科技活动择优资助项目(黔人项目资助合同[2018]09);贵州大学研究生重点课程(贵大研ZDKC[2015]026)。
研究了一种新型双埋氧绝缘体上硅(DSOI)NMOSFET的自热效应(SHE)。通过实验测试并结合计算机数值模拟分析了SHE对DSOI NMOSFET输出特性的影响。仿真结果显示DSOI NMOSFET的背栅引出结构形成了额外的散热通道。重点研究了器件电压和环境...
关键词:双埋氧绝缘层上硅(DSOI) 自热效应(SHE) 晶格温度 退化电流 背栅 
用于ESD防护的PDSOI NMOS器件高温特性被引量:1
《半导体技术》2021年第3期210-215,共6页王加鑫 李晓静 赵发展 曾传滨 李博 韩郑生 罗家俊 
国家自然科学基金青年基金资助项目(61804168)。
研究了基于0.18μm部分耗尽型绝缘体上硅(PDSOI)工艺的静电放电(ESD)防护NMOS器件的高温特性。借助传输线脉冲(TLP)测试系统对该ESD防护器件在30~195℃内的ESD防护特性进行了测试。讨论了温度对ESD特征参数的影响,发现随着温度升高,该ES...
关键词:静电放电(ESD) 绝缘体上硅(SOI) NMOSFET 高温 传输线脉冲(TLP) 
28nm NMOSFET器件漏电的研究与优化
《集成电路应用》2020年第5期31-33,共3页勾鹏 王海涛 周晓君 刘巍 田明 
上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1500204)。
随着MOSFET器件尺寸不断缩小,短沟道器件的漏电越来越严重,导致芯片的发热现象更严重,极大降低了芯片的可靠性。基于HLMC 28 nm低功耗逻辑平台,研究了轻掺杂漏(LDD)流程中离子注入工艺条件对NMOSFET器件漏电的影响及物理机制。实验结果...
关键词:集成电路制造 NMOSFET 器件 漏电 LDD离子注入 
单轴应变硅UTBB NMOSFET电子能谷占有率解析模型
《半导体技术》2020年第4期274-279,322,共7页王晓艳 徐小波 张林 
国家自然科学基金资助项目(61504011);陕西省自然科学基金资助项目(2018JM6067,2018JZ6004,2017JQ4025);中央高校基本科研业务费资助项目(300102328109)。
超薄体和隐埋氧化层(UTBB)全耗尽绝缘体上硅(FDSOI)(UTBB FDSOI简称为UTBB)金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)沟道硅膜厚度小于体硅最大耗尽层宽度,基于传统三角形势阱近似的器件建模方法已不再适用,必须重新建立基于矩形势阱近似...
关键词:超薄体和隐埋氧化层(UTBB) 有限势阱高度 电子能谷占有率 应变 解析模型 
超薄全耗尽SOI器件的总剂量效应研究被引量:3
《集成电路应用》2019年第9期20-22,共3页李宁 赵凯 沈鸣杰 
上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1300303)
研究了基于超薄SOI(UTSOI)的MOSFET总剂量辐照效应。研究主要基于晶体管的三个工作状态(ON状态、OFF状态、TG状态)和不同的背栅偏置条件进行了总剂量辐照试验。试验结果表明,采用超薄SOI材料制造的MSOFET,由总剂量辐照导致阈值漂移现象...
关键词:集成电路 SOI 全耗尽 总剂量辐照 NMOSFET 
高k金属栅NMOSFET器件阈值电压调控方法
《微纳电子技术》2019年第1期13-19,25,共8页刘城 王爱记 刘自瑞 刘建强 毛海央 
实现对器件阈值电压的有效调控是高k金属栅(HKMG)技术面临的一项重要挑战。TiAl薄膜作为n型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOSFET)的功函数层被广泛地应用于HKMG结构中以实现对器件阈值电压的调控。实验采用射频(RF)-直流(DC)磁控溅射...
关键词:高k金属栅(HKMG) 功函数层 磁控溅射 Ti/Al原子比率 阈值电压 n型金属氧化物半导体场效应晶体管(NMOSFET) 
Influence of characteristics' measurement sequence on total ionizing dose effect in PDSOI nMOSFET
《Chinese Physics B》2018年第12期551-558,共8页Xin Xie Da-Wei Bi Zhi-Yuan Hu Hui-Long Zhu Meng-Ying Zhang Zheng-Xuan Zhang Shi-Chang Zou 
The influence of characteristics’ measurement sequence on total ionizing dose effect in partially-depleted SOI nMOSFET is comprehensively studied. We find that measuring the front-gate curves has no influence on tota...
关键词:total ionizing dose(TID) silicon-on-insulator(SOI) measurement sequence tunneling effect 
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