马中发

作品数：9被引量：14H指数：2
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发文主题：石墨烯场效应晶体管低频噪声沟道双栅更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《微电子学》《中国科学：物理学、力学、天文学》《电子科技》《西安电子科技大学学报》更多>>
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基于低频噪声的薄膜电阻器可靠性表征方法被引量：2
《电子科技》2014年第12期100-104,107,共6页吴勇 马中发 杜磊 何亮 
薄膜电阻的低频噪声同器件的损伤程度密切相关。文中采用两级低噪声放大器和高速高精度PCI数据采集卡构建的测试系统测量了一组1.5 kΩ镍铬薄膜电阻老化试验前后的低频噪声,结合显微分析发现电迁移是薄膜电阻可靠性退化的主导机制,电迁...
关键词：镍铬薄膜电阻器 低频噪声 老化试验 电迁移 可靠性 
新型自对准石墨烯场效应晶体管制备工艺
《半导体技术》2013年第7期525-529,共5页邓建国 杨勇 马中发 韩东 吴勇 张鹏 张策 肖郑操 
提出了一种新型自对准石墨烯场效应晶体管(graphere field-effect transistor,GFET)制备工艺,该工艺可与现有Si CMOS工艺相兼容。利用该工艺制备的自对准栅GFET器件可以消除传统GFET器件制备过程中存在的栅极与漏极和源极覆盖区的寄生...
关键词：石墨烯 石墨烯场效应晶体管(GFET) 自对准 集成电路(IC) 硅 
MOSFET辐照损伤1/f噪声产生机制的定量鉴别方法
《西安电子科技大学学报》2011年第4期6-10,48,共6页李伟华 杜磊 包军林 马中发 
国家自然科学基金资助项目(60276028)
用小波极大模统计参量研究了MOSFET器件辐照损伤低频噪声的时间序列.将辐照前后实验测量的低频噪声信号与数值模型产生的噪声信号统计特性相比较,发现nMOSFET和pMOSFET的低频噪声小波极大模统计结果均与随机电报噪声叠加模型数值信号的...
关键词：MOSFET 辐照损伤 1/f噪声 小波分析 
VLSI金属互连线电迁移噪声检测敏感性的逾渗模拟被引量：1
《现代电子技术》2010年第14期186-189,共4页李宇博 马中发 张鹏 
在电迁移物理机制的基础上结合逾渗理论,建立了一种金属互连线电迁移的逾渗模型。基于该模型,采用蒙特卡罗方法模拟了超大规模集成电路(VLSI)金属互连线电迁移过程中电阻和低频噪声参数的变化规律。结果表明,与传统的电阻测量方法相比,...
关键词：电迁移 LF噪声 逾渗模拟 敏感性 
纳米MOSFET栅氧化层中吸引型陷阱的参数提取方法
《中国科学：物理学、力学、天文学》2010年第4期395-399,共5页张鹏 庄奕琪 马中发 吴勇 
通过实验在室温下同时测量纳米MOSFET器件样品漏源电流和栅电流的低频噪声,发现一些样品器件中漏源电流不存在明显的RTS噪声,而栅电流存在显著的RTS噪声,而且该栅电流RTS噪声俘获时间随栅压增大而增大,发射时间随栅压增大而减小的特点,...
关键词：RTS噪声 参数提取 吸引型陷阱 
电子器件噪声高斯性和线性的定量分析方法被引量：1
《西安电子科技大学学报》2009年第6期1059-1062,1091,共5页李伟华 庄奕琪 杜磊 包军林 马中发 
国家自然科学基金资助(60676053)
基于高阶统计量理论,采用双相干系数平方和对电子器件噪声进行了定量分析.通过分析非线性非高斯信号、线性非高斯信号、非线性高斯信号、线性高斯信号,给出噪声信号的线性与高斯性的定量判定标准.将这种分析方法用于实验测量的电子器件...
关键词：电子器件的噪声 时间序列分析 高阶统计量 高斯性 线性 
纳米MOS器件RTS噪声测量与分析被引量：5
《西安电子科技大学学报》2008年第6期1041-1045,共5页张鹏 庄奕琪 鲍立 马中发 包军林 李伟华 
国家自然科学基金资助(60276028;60676053)
提出了一种基于虚拟仪器的纳米MOS器件随机电报信号噪声测量方法.应用虚拟仪器平台采集随机电报信号噪声的时间序列,采用逐点差分和高斯函数拟合方法,提取了随机电报信号噪声的相对幅度,再通过数字滤波和指数函数拟合方法提取随机电报...
关键词：随机电报信号噪声 噪声测量 虚拟仪器 纳米MOS器件 
VLSI金属互连电迁移可靠性评估技术研究
《微电子学》2002年第6期412-415,共4页薛丽君 杜磊 庄奕琪 鲍立 李伟华 马中发 
　在简要介绍电迁移失效机理的基础上,对各种电迁移可靠性实验评估方法的特点进行了分析对比,重点研究了VLSI金属互连电迁移可靠性的噪声评估技术。通过实验数据和结果的对比分析,证明噪声方法不仅可行,而且有着其他传统方法不可比拟的...
关键词：VLSI 金属互连 电迁移 可靠性评佶 噪声测试 
1/f噪声之谜被引量：5
《世界科技研究与发展》1999年第4期69-72,共4页庄奕琪 马中发 杜磊 
１／ｆ 噪声是一种普遍存在于物理、生物、社会、医学、天文、地理等系统中的自然现象，人们为寻找它的产生机制孜孜以求近百年。虽然至今尚不能找到形成这种噪声的统一机制。但已发现１／ｆ 噪声具有一种截然不同的两面性：一方面，“...
关键词：1/f噪声 缺陷检测 美学 子波 分析方法 
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