Vistec看好08年中国半导体市场  

出　　处：《集成电路应用》2008年第5期16-16,共1页Application of IC

摘　　要：前身徕卡微系统的Vistec半导体系统公司目前供应宏观缺陷检测、缺陷评估与分类工具、光掩膜量测，以及电子束直写与光掩膜制作系统。 Vistect半导体系统事业部产品经理Andreas Machura表示，浸没式光刻技术的应用给工艺控制带来了新的挑战，浸没液体可能将如晶圆边缘和倾角非关键缺陷带到晶圆正面，造成致命缺陷，因此需要早期鉴定并分类这些缺陷。

关 键 词：半导体市场 中国 缺陷检测 导体系统 电子束直写 缺陷评估 制作系统 工艺控制 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学] F407.635[经济管理—产业经济]