检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
机构地区:[1]上海交通大学自动化研究所,上海200240 [2]香港城市大学制造与管理工程系,香港
出 处:《控制与决策》2008年第6期709-713,共5页Control and Decision
基 金:国家自然科学基金项目(60774015,60604018);高等学校博士点专项科研基金项目(20060248001)
摘 要:为解决多控制源空间分布系统的控制问题,在以往文献提出的空间模糊控制器的基础上,提出一种基于空间分解、局部协调的空间模糊控制策略,针对多控制源设计了具有协调功能的空间模糊控制器.以三区快速加热化学气相沉积反应器系统为例,对所提出的控制方法进行了仿真验证.仿真结果表明,该方法能取得更好的空间均匀性.To solve the control problem of spatially-distributed systems with multiple actuators, a fuzzy control strategy with spatial decomposition and local coordination is proposed based on the existing literature. A spatial fuzzy controller is presented for multiple actuators, and then spatial fuzzy controllers with coordination function are designed. A rapid thermal chemical vapor deposition(RTCVD) system is taken as an example. The simulation results show that the proposed control method can achieve an excellent spatial uniformity.
分 类 号:TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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