等离子体金属有机物化学气相沉积碳氮化钛  

作　　者：石玉龙[1] 彭红瑞[1] 李世直[1] 

机构地区：[1]青岛化工学院等离子体表面技术研究所

出　　处：《表面技术》1997年第5期4-5,共2页Surface Technology

基　　金：本课题为山东省自然科学基金

摘　　要：叙述了采用金属有机物钛酸四乙脂取代四氯化钛,运用PCVD外加热法沉积Ti(CN)涂层,其显微硬度可达1600kg/mm^2,涂层结构仍为柱状晶.

关 键 词：等离子体 金属有机物 碳氮化钛 化学气相沉积 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]