ASYST推出AMHS新方案增加晶圆厂生产力  

出　　处：《中国集成电路》2008年第8期7-7,共1页China lntegrated Circuit

摘　　要：ASYST近13宣布推出Agile Automation，这是一种在半导体晶圆厂新的自动化物料处理（Automated Material Handling）方式。Agile Automation是开创业界先例的解决方案。它大幅增加晶圆厂的生产力，”通过模块化增强现有AMHS制度。Agile Automation具有并行加载和卸载几项工具的功能，同时大幅度减少对搭载置顶输送工具（Overhead Transport Vehicles，OHV）的依赖。

关 键 词：AMHS 生产力 晶圆 物料处理 并行加载 自动化 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]