AMHS

作品数：29被引量：22H指数：3
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半导体领域AMHS系统产业发展分析
《中国集成电路》2025年第3期12-15,26,共5页李建慧 沈锦璐 冯国楠 刘超 
自动物料搬运系统(Automatic Material Handling System,AMHS)是半导体制造厂的“物流大动脉”,因其自动化、高效率、高稳定性、智能化优势,逐渐成为半导体制造过程中不可或缺一部分。随着半导体技术的不断进步,AMHS系统的作用越来越大...
关键词：半导体 AMHS 天车 产业发展 
苏州新施诺:顺时聚势,成为全球领先的AMHS解决方案提供商——访苏州新施诺半导体设备有限公司总经理王宏玉
《物流技术与应用》2024年第5期94-97,共4页江宏 王宏玉 
苏州新施诺公司以“成为全球AMHS技术第一”为愿景,依托韩国Synus Tech公司与新松机器人公司在洁净物流系统领域的核心技术,通过国内外协同研发及供应链整合,不断升级AMHS系统解决方案,为客户提供稳定可靠高效的洁净物流系统设备与控制...
关键词：供应链整合 物流系统 半导体设备 半导体行业 控制软件 访苏州 提供商 协同研发 
倍加福PXV视觉系统打造准确高效的半导体AMHS天车系统解决方案
《智慧工厂》2024年第2期39-39,共1页无 
在科技日新月异的今天,芯片产业正悄然发生着一场行业变革。从航天飞机到高铁渡轮,从手机平板到日用家电,无处不在的芯片,正是这场变革的核心。而在芯片的生产线上,一个智能化、高效率的半导体工厂成为了这场变革的重要舞台。其中,AMHS...
关键词：行业变革 视觉系统 视觉原理 芯片产业 半导体 准确高效 系统解决方案 自动物料搬运系统 
300mm晶圆厂空中储存系统的设计及应用
《智能制造》2024年第3期112-116,共5页王岸 尚成硕 
针对晶圆厂OHB系统的建设,通过调研现有OHB系统,总结并优化该系统的几个重点要素,即硬件结构、安装形式和AMHS运输轨道的匹配,以及和AMHS运输车的位置匹配,形成OHB系统的设计思路和方法。参考此方法设计的OHB系统,能充分利用洁净室上部...
关键词：全自动物料搬运系统 晶圆厂 AMHS运输轨道 空中储存区 
300mm晶圆制造厂AMHS系统工程设计及仿真
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2024年第1期0126-0131,共6页王晶 王岸 程星华 
集成电路生产制造作为高科技行业中的劳动密集型产业,包括几十种生产流程,每道流程之间都需要进行物料流转,在这种情况下,物料流转的精确性和稳定性就极为重要。自动物料搬运系统(AMHS,Automated Material Handling System)应运而生,其...
关键词：物料搬运系统 天车系统 运输时间 晶圆制造厂 AMHS系统 工程设计 
基于强化学习的整体式AMHS防堵塞路径规划方法
《工业工程与管理》2023年第6期119-130,共12页吴立辉 李元生 周秀 张中伟 
国家自然科学基金项目(U1704156);上海应用技术大学引进人才科研启动项目(YJ2022-33);河南省科技攻关计划项目(212102210357);河南省高等学校重点科研项目(23A460003)。
整体式自动化物料运输系统(automated material handling system,AMHS)广泛应用于12英寸晶圆制造系统,AMHS中天车(overhead hoist transport,OHT)频繁堵塞严重制约AMHS的生产运输效率。为消减OHT堵塞,提出一种实时数据驱动强化学习(real...
关键词：AMHS 实时数据 强化学习 防堵塞 路径规划 
晶圆制造AMHS防堵塞路径规划方法研究被引量：2
《计算机仿真》2023年第11期284-289,共6页吴立辉 李元生 周秀 张中伟 
国家自然科学基金项目(U1704156);河南省科技攻关计划项目(212102210357);上海应用技术大学引进人才科研启动项目(YJ2022-33)。
自动化物料运输系统(Automated Material Handling System,AMHS)是12英寸晶圆制造系统至关重要的组成部分,AMHS中的天车(Overhead Hoist Transport,OHT)频繁堵塞严重影响AMHS和晶圆制造系统的运行性能。为减少AMHS运行中的OHT堵塞,提出...
关键词：晶圆制造 自动化物料运输系统 防堵塞 路径规划 动态调整 
晶圆制造自动化物料调度系统研究进展被引量：1
《人工智能》2022年第3期65-73,共9页杜威 李志田 徐方 杜振军 
新一代人工智能重大项目(2020AAA0108902)。
半导体行业因设备成本投入巨大,因此对设备的利用效率提出了高需求。自动化物料调度系统能够显著提升半导体生产效率和设备的利用率。本文对当前主流的半导体行业的自动化物料调度系统进行了概述,从机台布局、车辆规模、性能指标、仿真...
关键词：晶圆制造 AMHS 调度策略 路由策略 
AMHS系统中DL地址处理案例分析
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2021年第8期356-357,359,共3页唐艳峰 
在AMHS系统运行中,各个地区和各个厂家的AMHS系统都存在差异性,特别国际民航组织的建议标准修改得比较频繁,也就使得系统运行存在很多不确定因素。遇到问题时,需按照国际民航组织发布的建议标准及时更新系统,或与其他地区用户协商处理...
关键词：ATN 航空电信网络 AMHS AMHS MTS DL MTCU 0 
面向紧急订单的晶圆制造AMHS多目标调度方法被引量：2
《组合机床与自动化加工技术》2020年第1期155-159,共5页吴立辉 宋昊举 张中伟 武照云 
国家自然科学基金项目(U1704156);河南省高等学校重点科研资助项目(18A460013)
为提高晶圆制造整体式自动化物料运输系统中紧急订单的搬运性能,以晶圆卡平均等待时间、平均加工周期、平均搬运时间作为优化目标,建立了整体式自动化物料运输系统多目标调度模型。提出了一种基于循序搜索启发式规则的物料运输系统多目...
关键词：晶圆制造 紧急订单 多目标调度 
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