新颖光电子集成技术──异质半导体直接键合及其在器件研制中的应用  

作　　者：朱祖华[1] 丁桂兰[1] 陈抗生[1] 

机构地区：[1]浙江大学信息电子工程学系,杭州310027

出　　处：《高技术通讯》1997年第9期59-62,58,共5页Chinese High Technology Letters

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：对十年来光电子集成技术的发展作了简要的回顾。着重介绍了近年来兴起的一种新颖的集成技术─-异质半导体直接键合技术的工艺和特点及其对新型光电子器件发展的推动。

关 键 词：直接键合 异质半导体 光电子集成技术 

分 类 号：TN304.23[电子电信—物理电子学] TN305