线宽量测从容面对32nm  

作　　者：Alexander E.Braun 

出　　处：《集成电路应用》2008年第8期20-24,共5页Application of IC

摘　　要：尽管有迹象表明传统的测量设备已经达到了能力的极限,但是全新设计并具有更为复杂的计算模型的新一代测量技术将继续为包括工艺监控、技术检测、物理测量和电学测试在内的各种测试项目提供高精度、高重复性的技术支持。

关 键 词：量测 线宽 测试项目 测量设备 工艺监控 测量技术 计算模型 技术检测 

分 类 号：TS802.2[轻工技术与工程] U455.48[建筑科学—桥梁与隧道工程]