射频MEMS开关的研究  

Study on RF MEMS Switch

作　　者：陈光红[1] 吴清鑫[1] 于映[2] 罗仲梓[3] 

机构地区：[1]苏州市职业大学电子信息工程系,江苏苏州215104 [2]福州大学物理与电信工程学院,福州350002 [3]厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建厦门361005

出　　处：《中国仪器仪表》2008年第8期37-39,共3页China Instrumentation

基　　金：国家基金青年基金(项目编号:60301006);福建省自然科学基金(项目编号:A0310012)

摘　　要：概述射频MEMS开关的研究背景及意义,介绍国内外射频MEMS开关的研究现状,列举出两种主要的射频MEMS开关:电容耦合并联式开关和金属-金属接触串联式开关的结构、工作原理、性能比较。Background and significance of studying on RF MEMS switch are overviewed. Status of studying on RF MEMS switch at home and abroad is introduced. Two kinds of RF MEMS switches are listed. Structure and principle ofRF MEMS switch in series and capacitive coupling are compared.

关 键 词：射频MEMS开关 金属-金属接触串联式 电容耦合并联式 

分 类 号：TH703[机械工程—仪器科学与技术]