LPE-GaAs微探尖与VCSEL的粘合集成  

Agglutinating integration between LPE-GaAs microtip and VCSEL

作　　者：田怡春[1,2] 胡礼中[1,2] 梁秀萍[1,2] 张红治[1,2] 潘石[1,2] 

机构地区：[1]大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,辽宁大连116024 [2]辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连116024

出　　处：《光电子．激光》2008年第9期1185-1187,共3页Journal of Optoelectronics·Laser

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60377005);科技部重大基础研究项目前期研究专项基金资助项目(2004CCA03700);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20060141026)

摘　　要：介绍了应用于扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖与垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的粘合集成方法,并利用扫描电子显微镜对集成后的微探尖与VCSEL进行了表征。结果表明,该种方法能够成功地将微探尖转移并集成到VCSEL的出光窗口上,实现微探尖与出光窗口的对准,并且整个过程中不会对微探尖造成损伤。这种技术对进一步实现由带有PIN光探测器的VCSEL与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着重要的应用价值。GaAs microtip for scanning near field optical microscopy （SNOM） sensors are integrated onto vertical-cavity surface emitting lasers（VCSELs）by agglutination. Scanning electron microscopy （SEM） images show that GaAs microtips can be successfully transferred and integrated onto VCSELs, which are not damaged during the whole process. This technique has important practical values in realizing a hybrid integrated SNOM sensor composed by a VCSEL with a PIN monitor and GaAs microtips.

关 键 词：粘合集成 微探尖 液相外延 扫描近场光学显微术 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]